سیویلیکا را در شبکه های اجتماعی دنبال نمایید.

بررسی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی با استفاده از تکنولوژی MEMS

Publish Year: 1392
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 3,093

This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download

Export:

Link to this Paper:

Document National Code:

NCNIEE02_254

Index date: 18 February 2014

بررسی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی با استفاده از تکنولوژی MEMS abstract

در این مقاله به یک ساختار میکروفون خازنی اشاره شده که در طراحی آن از تکنولوژی - mems استفاده شده است.میکروفون های با ساختار خازنی در حالت کلی از دو صفحه تشکیل می گردند، که به صفحه بالایی تشکیل دهنده آن، دیافراگم(Diaphragm) گفته می شود که در معرض برخورد امواج صوتی قرار دارد و صفحه دیگر که در قسمت پایینی قرار دارد و ثابت می باشد. این دو صفحه بوسیله یک فاصله هوایی (air gap) از هم جدا می گردند. ابعاد میکروفون ارائه شده ) mm2 5.0 5.0 ( می باشد و ضخامت

بررسی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی با استفاده از تکنولوژی MEMS Keywords:

بررسی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی با استفاده از تکنولوژی MEMS authors

جواد احمدنژاد

دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،

بهرام عزیزالله گنجی

دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،

آرش نعمتی

دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
J. Chen, L. Liu, Z. Li, Z. Tan, Y. Xu ...
J. Miao, R. Lin, L. Chen, Q. Zou, S. Y. ...
Microelectron ics Journal, _ 33, No.3, pp. 21-28, 2002. ...
X. Li, R. Lin, H. Kek, J. Miao and Q. ...
microphone with a novel single deeply corrugated diaphragm" Sensors and ...
C.T. Yang, "The Sensitivity Analysis of a MEMS Microphone with ...
C. Gibbons and R. N. Miles, "Design of A Biomimetic ...
B. A. Ganji and B. Y. Majlis, "Design and capacitive ...
diaphragm" Sensors and Actuators, Vol. 149, No.5 _ pp. 29-37, ...
_ A. Ganji and B. Y. Majlis, "Slotted Capacitive Microphone ...
S. Chowdhur, M. Ahmadi, and W.C. Miller, Capacitive the ...
International Conference _ MEMS , NANO and Smart Systems (ICMENS), ...
P. Horwath, A. Erlebach, R. Kohler and H. Kuck, "Miniature ...
B. A. Ganji and B. Y. Majlis , " The ...
P. R. Scheeper, W. Olthuis and P Bergveld, "A silicon ...
H. Siliang, _ Yan , Z. Jian'en, W. Donghui and ...
B.A.Ganji and B.Y. Majlis, "Deposition and Etching of Diaphragm and ...
نمایش کامل مراجع

مقاله فارسی "بررسی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی با استفاده از تکنولوژی MEMS" توسط جواد احمدنژاد، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،؛ بهرام عزیزالله گنجی، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،؛ آرش نعمتی، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، نوشته شده و در سال 1392 پس از تایید کمیته علمی دومین کنفرانس ملی ایده های نو در مهندسی برق پذیرفته شده است. کلمات کلیدی استفاده شده در این مقاله میکروفون MEMS ، دیافراگم، ولتاژ Pull-in ، فاصله هوایی (air gap هستند. این مقاله در تاریخ 29 بهمن 1392 توسط سیویلیکا نمایه سازی و منتشر شده است و تاکنون 3093 بار صفحه این مقاله مشاهده شده است. در چکیده این مقاله اشاره شده است که در این مقاله به یک ساختار میکروفون خازنی اشاره شده که در طراحی آن از تکنولوژی - mems استفاده شده است.میکروفون های با ساختار خازنی در حالت کلی از دو صفحه تشکیل می گردند، که به صفحه بالایی تشکیل دهنده آن، دیافراگم(Diaphragm) گفته می شود که در معرض برخورد امواج صوتی قرار دارد و صفحه دیگر که در قسمت پایینی ... . برای دانلود فایل کامل مقاله بررسی و تحلیل عملکرد میکروفون خازنی با استفاده از تکنولوژی MEMS با 7 صفحه به فرمت PDF، میتوانید از طریق بخش "دانلود فایل کامل" اقدام نمایید.