طراحی و شبیه سازی سنسور فشار پیزومقاومتی میکرو الکترومکانیک
Publish place: The first national conference on electrical engineering of Islamic Azad University, Langarud branch
Publish Year: 1393
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,586
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ICEES01_101
Index date: 6 March 2016
طراحی و شبیه سازی سنسور فشار پیزومقاومتی میکرو الکترومکانیک abstract
رشد فزاینده استفاده از سنسورها در عرصه های گوناگون و همچنین کاربردی کردن تکنولوژیهای جدید برای استفاده در صنعت ، دلیل برای ورود به این عرصه می باشد. از طرفی تکنولوژی میکرو الکترومکانیک با تلفیق المان های الکترونیکی و مکانیکی در ابعاد کوچک بر روی ویفرهای سیلیکونی ، امکان اندازه گیری دقیق با کارایی و قابلیت بالا را فراهم می نماید.در این تحقیق با استفاده از تکنولوژی میکرو الکترومکانیک یک سنسور طراحی و شبیه سازی می شود و اثر ساختار طراحی شده بر حساسیت سنسور فشار میکروالکترومکانیک با مبدل پیزو مقاومتی بررسی و با استفاده از معادلات حاکم، مقدار جابجایی و ولتاژ معادل محاسبه و در نهایت با استفاده از شبیه ساز و با بررسی تغییر وضعیت دیافراگم و رصد عملکردسنسور، راه کارهایی جهت افزایش حساسیت حسگر ارائه می شود
طراحی و شبیه سازی سنسور فشار پیزومقاومتی میکرو الکترومکانیک Keywords:
طراحی و شبیه سازی سنسور فشار پیزومقاومتی میکرو الکترومکانیک authors
محسن جعفری حقیقی
دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
جواد کرمدل
دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
رضا فضایلی
دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران جنوب
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :