اندازه گیری ضخامت لایه های نازک با استفاده از پراش فرنل در بازتاب
Publish place: 15th Iranian Conference on Optics and Photonics
Publish Year: 1387
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 4,820
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ICOPTICP15_132
Index date: 30 December 2008
اندازه گیری ضخامت لایه های نازک با استفاده از پراش فرنل در بازتاب abstract
دراین مقاله روش اندازه گیری ضخامت لایه های نازکی که به صورت پله در:آمده باشند با استفاده ازپراش فرنل ازپله دربازتاب مطالعه شده است دراین مطالعه با استفاه ازدوطول موج 532و 633 نانومتر چند ضخامت درگستره چندین نانومتر تا 600 نانومتر اندازه گیری شده است دقت اندازه گیری درحدود 5 نانومتر است این روش باری لایه های با ضخا مت بیش ازطول موج نیزقابل استفاده است انجام روش ساده است وامکان اندازه کیری درزاویه های فرود مختلف دقت و اطمینان ازنتیجه را بطور چشمگیری افزایش می دهد .
اندازه گیری ضخامت لایه های نازک با استفاده از پراش فرنل در بازتاب Keywords:
اندازه گیری ضخامت لایه های نازک با استفاده از پراش فرنل در بازتاب authors
ایمان معدل حقیقی
دانشکده فیزیک دانشگاه تهران
محمد تقی توسلی
دانشکده فیزیک دانشگاه تهران
خسرو حسنی
دانشکده فیزیک دانشگاه تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :