بررسی پارامترهای ناپایداری میکروعملگرهای الکتروستاتیکی یک سرگیردار بر بستری از فندانسیون الاستیک

صنعت خودرو، جایگاه بیشترین موفقیت تجاری سیستم های الکترومکانیکی به صورت شتاب سنج های مبتنی بر سیستم های میکرو و نانوالکترومکانیکی برای فعال سازی کیسه های هوا است. ناپایداری عملگرهای الکترو ستاتیکی یک سر گیردار در ابعاد میکرو در این تحقیق مورد مطالعه قرار گرفته است. خیز تیر و ولتاژ الکتریکی در حالت ناپایداری† که از پارامترهای اساسی در طراحی عملگرهای الکتروستاتیکی محسوب می شوند، با استفاده از نرم افزار میپل استخراج می شوند.پارامترهای ناپایداری برای مقادیر مختلف ضریب فندانسیون الاستیک مورد مطالعه قرار میگیرد. در این تحقیق ملاحظه میشود که با افزایش ضریب فندانسیون الاستیک، ولتاژ الکتریکی افزایش و خیز تیر در حالت ناپایداری کاهش مییابد

Keywords:

میکرو , الکترومکانیک , عملگر الکتروستاتیکی , ناپایداری , فندانسیون الاستیک+X156