طراحی، آنالیز و شبیه سازی یک حسگر زیست محیطی MEMS مبتنی بر تنش سطحی به منظور شناسایی سلول های زیستی
Publish Year: 1397
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 761
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ICBME25_018
Index date: 9 March 2019
طراحی، آنالیز و شبیه سازی یک حسگر زیست محیطی MEMS مبتنی بر تنش سطحی به منظور شناسایی سلول های زیستی abstract
در مقاله یک حسگر زیست محیطی MEMS مبتنی بر تنش سطحی طراحی شده است. تاثیر تغییر ابعاد تیرک های یک سر گیردارو دیافراگم، بر خواص جابجایی، فرکانس، تنش و حساسیت یک زیست حسگر بررسی شده است و با استفاده از COMSOL 5.3a شبیه سازی شده است. نتایج شبیه سازی و آنالیز عددی همدیگر را تایید می کنند. تیرک های یک سر گیردار در این حسگر از یک لایه piezoresistive، SU8/CB بین دو لایه SU8 تشکیل شده است. این تیرک ها، یک دیافراگم مربعی را نگه می دارند. در این مقاله شبیه سازی ها برای دو حسگر متفاوت انجام شده است . هر دو حسگر از تیرک های یک سر گیردار سه لایه استفاده می کنند. در ساختار اول تیرک ها به صورت متمرکز می باشد یعنی تیرک ها در وسط هر ضلع دیافراگم قرار گرفته اند. در ساختار دوم تیرک ها به صورت پراکنده هستند بدین معنا که در هر انتهای هر ضلع دیافراگم یک تیرک قرار گرفته است. اما ساختار دیافراگم در هر دو حالت یکسان است. نتایج مقایسه این دو حالت گزارش شده است.
طراحی، آنالیز و شبیه سازی یک حسگر زیست محیطی MEMS مبتنی بر تنش سطحی به منظور شناسایی سلول های زیستی Keywords:
طراحی، آنالیز و شبیه سازی یک حسگر زیست محیطی MEMS مبتنی بر تنش سطحی به منظور شناسایی سلول های زیستی authors
مهدیه خرسندی فرد
عضو هییت علمی دانشکده برق و کامپوتر دانشگاه شهید بهشتی تهران
کیان جعفری
عضو هییت علمی دانشکده برق و کامپوتر دانشگاه شهید بهشتی تهران