طراحی و ساخت حسگر گاز پیوند فلز ت اکسید - فلز به روش لایه نشانی الکتروشیمیایی
Publish place: 13th Iranian Student Conference on Electrical Engieering
Publish Year: 1389
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,923
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ISCEE13_284
Index date: 5 August 2010
طراحی و ساخت حسگر گاز پیوند فلز ت اکسید - فلز به روش لایه نشانی الکتروشیمیایی abstract
دراین مقاله روش جدیدی درجهت ساخت حسگر گازی مبتنی بر ساختار خازنی فلز ت عایق - فلز MIM ارائه گردیده است ساختار MIM پیشنهادی با لایه نشانی الکتروشیمیایی آلومینیوم برروی سطح آلیاژ کروم - نیکل رشد یافته و پس ازا کسیداسیون حرارتی به عنوان دی الکتریک عمل می کند برای پیوند دیگر گرافیت به عنوان فلز انتخاب گردید و اتصال آن با استفاده از خمیر گرافیت محقق شد. پس از آماده سازی پیوند MIM خاصیت خازنی آن توسط یک مدار اسیلاتور ساده برروی اسیکوسکوپ اثبات شد سپس تغییرات ظرفیت خازن با اعمال گاز به قطعه بررسی گردید. نتایج آزمایشگاهی نشان دادند که ظرفیت این سنسور به ازای 10ppm از گازهای هیدروژن، دی اکسید کربن و مونوکسید کربن به ترتیب به اندازه 7.18% 5.68% و 1.98% افزایش می باید. لذا بالاترین حساسیت را مربوط به گاز هیدروژن و کمترین حساسیت را نسبت به گاز دی اکسید کربن داشت.
طراحی و ساخت حسگر گاز پیوند فلز ت اکسید - فلز به روش لایه نشانی الکتروشیمیایی Keywords:
طراحی و ساخت حسگر گاز پیوند فلز ت اکسید - فلز به روش لایه نشانی الکتروشیمیایی authors
محمد عروتی نیا
دانشکده علمی کاربردی پست و مخابرات
علیرضا ملاح زاده
دانشگاه خلیج فارس بوشهر
فروغ پاک رای
دانشگاه آزاد اسلامی واحد بوشهر دانشکده مهندسی برق
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :