ساخت حسگرها با استفاده از نانو ساختارهای آلومینا

نانوساختارها ، به علت ویژگی های ابعادیشان، پتانسیل فراوانی برای کاربردهای مختلف در صنعت دارند. این مقاله، برتولید نانوساختارهای آلومینای آندایز شده با نظم بالا به روش آندایز سخت، و سپس لایه نشانی طلا بر روی ساختارنانومتخلخل آلومینا به روش مگنترون اسپاترینگ استوار است. روش آندایز سخت با استفاده از اسید اکسالیک ۳ / ۰ مولار،در ولتاژهای ۹۰ ، ۱۲۰ ، ۱۳۰ و ۱۴۰ ولت، برای تولید نانوحفره های آلومینا بکار گرفته شد و باتوجه به اینکه نانوحفره ها را،می توان به عنوان قالبی برای تولید نانوساختارهایی همچون نانو سیم ها، و نانولوله های کربنی مورد استفاده قرار داد، ازاینرو نظم بالای نانو حفره ها از اهمیت خاصی برخوردار است. نظم نانوحفره های آلومینا، با استفاده از تصاویر میکروسکوپالکترونی و تصاویر FFT مورد ارزیابی قرار گرفت. نتایج نشان دهنده وجود نظم بالا در نمونه های آندایز شده با ولتاژ های۱۳۰ و ۱۴۰ ولت بود. همچنین حسگر ساخته شده دارای افت امپدانسی قابل توجهی در درصد رطوبتی بالا بود.

Keywords:

آلومینا , آنودایز شده , حسگر , نانوساختار