طراحی و ساخت میکروهیتر پلاتینی کممصرف با عملکرد بالا مبتنی بر ساختار غشای معلق

با توسعه فناوری میکروماشینی و میکروالکترونیک، میکروهیتر یک مؤلفه کلیدی در میکروحسگرها به حساب می آید. در این مقاله یک میکروهیترپلاتینی با ساختار غشای معلق طراحی و ساخته شده است. شبیه سازی با نرمافزار کاونتور به کار گرفته شده است تا طراحی بهینه انتخاب شود. برای به دست آوردن توزیع دمای یکنواخت در سرتاسر ناحیه فعال میکروهیتر و افزایش استقامت غشا، لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دیالکتریک قرار داده شده است. یک فرآیند ساده و مطابق با فرآیند استاندارد مدار مجتمع برای ساخت میکروهیتر کم مصرف طراحی شده است. میکروهیتر ساخته شده برای رسیدن به دمای بالا 400 C فقط به توان مصرفی کم 45 میلی وات نیاز دارد. همچنین دارای پاسخ زمانی بسیار سریع در محدوده 5 میلی ثانیه برای رسیدن به دمای 400 C است.

Keywords:

توزیع دمای یکنواخت , غشای معلق شده , میکروهیتر , میکروحسگر MEMS