طراحی و ساخت دستگاه کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم با دو تارگت استوانه ای
Publish place: 7th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,879
This Paper With 11 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE07_090
تاریخ نمایه سازی: 29 خرداد 1387
Abstract:
دستگاه کندوپاش مغناطیسی با دوتارگت جهت تهیه لایه های نازک چند پشته به ویژه لایه های نازک جاذب انرژی خورشیدی (سرمت) طراحی و ساخته شد . این دستگاه از اجزاء و قسمت های مختلفی شامل
محفظه استوانه ای و تجهیزات آن، دو تارگت استوانه ای (کاتد) و تجهیزات مربوط به آن و نگهدا رنده زیر لایه و اجزاء آن تشکیل شده است. محفظه خلاء استوانه ای از جنس فولاد زنگ نزن با طول 650 و قطر داخلی 550 میلی متر است . این سیستم لایه نشانی شامل دو تارگت استوانه ای به طول 550 و قطر 50 میلیمتر میباشد که به طور مستقل عمل می کنند. داخل هر تارگت لوله ای، آهنرباهائی دائمی حلقوی شکل با شدت میدان مغناطیسی 290 گوس قرار دارند . در طی عمل لایه نشانی زیر لایه ها روی نگهدارنده نصب میگردند و برای تشکیل پوشش های یکنواخت زیرلایه ها به دور محور محفظه می چرخند . چرخش نگهدارنده زیرلایه ها توسط موتوری با دور متغیر و قابل تنظیم (18-3 دور در دقیقه) انجام میگیرد . جهت تغذیه سیستم پراکنش از دو منبع تغذیه با ورودی سه فاز برق شهر و خروجی DC منفی با ولتاژ قابل تنظیم 1000V- و جریان حداکثر 12A آمپر استفاده میشود. طراحی منبع تغذیه مخصوص محیط پلاسما بوده و به گونه ای است که در موقع عمل لایه نشانی دارای پایداری در توان بالا و ثبات ولتاژ خروجی در حین کار و عملکرد مناسب در مقابل جریان های لحظه ای شدید است . چند لایه های نازک آلومینیم و مس روی زیرلایه های شیشه ای در فشا ر 1 پاسکال و جریان کاتد 4 آمپر و ولتاژ کاتد 600 ولت انباشت شده است . آنالیزهای پراش اشعه ایکس (XRD) و میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) برای تعیین فازهای کریستالی و مطالعه مرفولوژی لایه ها مورد استفاده قرار گرفته است . پروفایل عناصر توسط دستگاه اسپکتروسکوپی نشری تخلیه نورانی (GD-OES) تعیین گردیده است.
Authors
ضرغام اسداللهی
مرکز تحقیقات هسته ای کرج
پروین بلاش آبادی
مرکز تحقیقات هسته ای کرج
عبدالجواد نوین روز
مرکز تحقیقات هسته ای کرج
محمد رضا قاسمی
مرکز تحقیقات هسته ای کرج
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :