ساخت و تولید جت پلاسمای فرکانس رادیویئ با استفاده از شبکه تطبیق امپدانس نوع L

Publish Year: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,140

This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

NCPHYAPP01_059

تاریخ نمایه سازی: 17 اردیبهشت 1392

Abstract:

پلاسمای فشار اتمسفری بدلیل هزینه ها ی پایین و کاربرد فراوان در صنعت بسیار مورد توجه میباشد. جت پلاسمای اتمفسری فرکانس رادیوئی به دلیل داشتن چگالی یونی بالا و ولتاژ شکست پایین یکی از پلاسماهای پرکاربرد در زمینه صنعت و پزشکی است. در این فرکانس برای تولید پلاسمای بهینه نیارمند به انتقال بیشترین توان از منبع به ساختار جت میباشیم . که بدین منظور به ساخت دستگاه تطبیق امپدانس پرداختیم. این دستگاه توانست با تطبیق کردن امپدانس بار قبل و بعد از فروشکست گاز با امپدانس منبع تغذیه 50 اهمی، جت پلاسمای فرکانس رادیوئی را تولید کند. با بیناب سنجی این پلاسما توانستیم گونه های اتمی و مولکولی را شناسایی کنیم.

Authors

فرشاد صحبت زاده

گروه فیزیک اتمی و مولکولی، دانشکده علوم پایه، دانشگاه مازندران

معصومه جهاندار

گروه فیزیک اتمی و مولکولی، دانشکده علوم پایه، دانشگاه مازندران