رسوب مس نانوساختار به روش رسوب فیزیکی بخار به کمک پرتو الکترونی و بررسی خواص اکسیداسیون و خوردگی آن
Publish place: 11th Iranian National Corrosion Congr
Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,033
This Paper With 10 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
INCC11_033
تاریخ نمایه سازی: 3 مهر 1388
Abstract:
در سالهای اخیر نانوساختارها به دلیل خواص مکانیکی، فیزیکی و شیمیایی غیرعادی خود مورد توجه قرار گرفته اند. در این میان رسوب فیزیکی بخار به کمک پرتو الکترونی (Electron Beam Physical Vapor Deposition) کاربردهای در صنایع الکترونیک برای تولید نانوساختارها و پوشش مدار مجتمع پیدا کرده است. در این تحقیق مس توسط رسوب فیزیکی بخار به کمک پرتو الکترونی به روی ویفر سیلیکن p-type 100 و شیشه نشانده شد و مورفولوژی سطحی آن توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی بررسی شد. به کمک تفرق پرتو ایکس عناصر موجود در پوشش ارزیابی گردید. سپس مقاومت به خوردگی و اکسیداسیون پوششهای مزبور سنجیده شد. نتایج به دست آمده حاکی از این بوده که مس نانوساختار پوشش داده شده، دارای خواص خوردگی و اکسیداسیون بهتری نسبت به ورقه مسی می باشد.
Keywords:
Authors
مهدی یگانه
دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه تهران
محسن صارمی
دانشیار دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :