طراحی و تحلیل سنسور فشار خازنی MEMS با حساسیت بالا و اندازه ی کوچک برای اندازه گیری فشار داخل چشم
Publish place: اولین کنفرانس سالانه تحقیقات کاربردی در مهندسی برق، کامپیوتر
Publish Year: 1394
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,182
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ECCONF01_081
تاریخ نمایه سازی: 6 بهمن 1395
Abstract:
این مقاله طرحی جدید از سنسورفشار خازنی با تکنولوژی ممز را که دارای حساسیت زیاد و اندازه ی کوچک است ارائه می دهد. سنسور عنوان شده برای اندازه گیری فشار داخل چشمی در رنج 60-0 میلیمتر جیوه است که برای درمان بیماران گلوکوما استفاده می شود، اندازه ی این سنسور 300x300 میکرومتر مربع است و دارای دیافراگم و صفحه ی متحرک جدا از هم می باشد که به کمک یک کوپلینگ مکانیکی به هم وصل شده اند. دیافراگم با ضخامت 1 میکرومتر و از جنس پلیماید است. دو صفحه که الکترودهای خازن را تشکیل می دهندو کوپلینگ مکانیکی از جنس طلا می باشند. این ساختار توسط نرم افزار اینتلسوییت طراحی شده و با توجه به نتایج شبیه سازی، حساسیت سنسور طراحی شده (3-)3/766x10؛ (1-)(پاسکال) و حساسیت مکانیکی دیافراگم (10-)1/79x10 (متر با کارهای انجام شده قبل دارای اندازه کوچکتر و حساسیت بیشتر و پاسخی خطی تر است.
Keywords:
Authors
مهدیه یاری اسبویی
دانشگاه گلستان
یدالله هزارجریبی
دانشگاه گلستان
بهرام عزیزالله گنجی
دانشگاه نوشیروانی بابل
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :